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    擴散矽與電容式變送器的區別

    點擊次數:2747  更新時間:2019-05-09

     壓力變送器根據感壓膜片的不同分為電容式、擴散矽式、單晶矽式和陶瓷式,本文主要討論電容式和擴散矽式。

         一、電容式壓力變送器

         原理:電容式壓力變送器有一個可變電容的傳感組件,該傳感器是一個*封閉的組件,過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充矽油傳到傳感膜片引起位移,傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成4-20ma電流信號。

        簡單的說,壓力引起電容的變化。

       其優點為:可以做到極低壓力;抗過載能力強;精度高。缺點為:高壓測量缺乏優勢;傳感器封裝工藝要求高。

          二、擴散矽式壓力變送器

         擴散矽式壓力變送器原理:被測介質的壓力直接作用於傳感器的擴散矽膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移。在正常狀態下,膜片大位移不大於0.025mm,電子線路檢測這一位移量後,即把這一位移量轉化成4-20ma信號。

        簡單的說,壓力引起電阻的變化。

        超壓時膜片直接貼到堅固的擴散矽上,由於膜片和基體的間隙隻有0.1mm,因此過壓時膜片的大位移也隻有0.1mm,所以從結構上保證了膜片不會產生過大的變形,該傳感器具有很好的穩定性和高精度。

       其優點是:穩定性高,每年優於0.1%FS;溫度偏移小,由於取消了測量元件中的液體,因此傳感器能夠獲得很高的精度;價格便宜。缺點是:低於0℃或高於85℃難以正常使用;不能承受動態壓力;膜片易損壞;不適用20MPa以上的壓力。

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